現像機

フォトリソグラフィ工程において、レジストを塗布した基板を現像するための装置です。
現像液をスリットノズルやスプレーノズルにて基板上に滴下し現像します。
現像後に純水にて現像液を除去し残留を洗い流します。
乾燥工程ではN2ブローを利用したスピンドライを実現します。