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事業案内
半導体装置の仕様・設計
私たちは、半導体製造装置の仕様を取り決め、設計から製造支援までを担当します。設計段階での綿密な打ち合わせと、製造時の品質管理を徹底し、高精度な装置を提供します。
対応製品
コーター
レジストや保護膜材料などをウェハやガラスパネル上へフラットあるいはコンフォーマルに均一に塗布します。
洗浄機
waferやガラス基板上の微細な汚れや異物を効率的に除去します。
現像機
露光処理後のレジストパターンの正確な現像を行います。
特殊部品
また、私たちはこれらの装置に必要な特殊部品の設計・提供にも対応しています。お客様の特定の要求に基づいて、部品の仕様や材料選定、精度調整を行い、より高い性能を発揮できるようサポートします。
